(1)、氧化鋯探頭的拆卸：
①、切斷在線氧化鋯分析儀的電源，拆開氧化鋯分析儀之間的接線。
②、可以用一定的流速的參比氣或者量程氣體，可以持續對氧化鋯探頭進行吹掃，從而使氧化鋯探頭緩慢的降溫，避免驟冷導致氧化鋯鋯管的斷裂。
③、待氧化鋯探頭降至常溫后，可以降氣源關斷，拆開氧化鋯探頭的參比氣、標準氣及空氣 噴射器氣源的管路接口，然后拆開氧化鋯探頭法蘭及螺母，將氧化鋯探頭及空氣噴射器和取樣管一并取出。
(2)、氧化鋯探頭檢修：
①、拆開氧化鋯探頭頂部的螺栓，取下過濾器及導管和擰下檢測器頂端的四顆安裝螺栓，取下過濾器組件及U形標準氣導管，輕輕旋出鋯管，取樣金屬O形圈及環狀接觸器。
②、氧化鋯探頭長期會積灰、積塵，特別內壁上級鋯管上黏附有油污，可以用毛刷或清潔、干燥的壓縮空氣清除，也可以用有機溶劑浸泡、清洗，然后烘干處理，檢測氧化鋯鋯管有無破損或者斷裂等情況，如果鋯管損壞就需要更換新的鋯管。
③、用壓縮空氣對孔道進行吹掃，將其異物清除，也可以用細絲對其疏通，一般鋼絲不能超過400mm。
④、清除過濾器異物，首先要檢查的是過濾器有無破損等現象，如果有必要就要更換過濾網。
⑤、檢查加熱電爐是否短路與斷路，可以用萬用表對其加熱爐進行檢測。
⑥、檢查加熱爐的熱電偶，并對其進行標定。
⑦、檢查環狀接觸器有無變形、銹蝕和破損狀況，如變形則進行修復，破損則需更換。
(3)、氧化鋯探頭的重新安裝與調試：
①、將接觸器準確無誤的放在氧化鋯探頭的溝槽中，注意要平穩放置。
②、將氧化鋯鋯管有序的旋入探頭中。
③、將U形標準氣導管裝入過濾器組件，與過濾網一起裝在檢測器上，注意標準氣導管要對準鋯管的中心。
④、對準安裝孔，均勻的緊固，可以加裝密封墊，不能出現漏氣狀況。
⑤、對鋯管進行檢漏處理，將氧化鋯探頭出氣口堵住，然后用0.1MPA的空氣從進氣口通入，一般進行5分鐘無泄漏，如果有漏氣現象則要更換鋯管。
(4)、氧化鋯探頭的取樣管檢修：
首先先從外觀觀察有無破損及氧化，如果有此現象則需要更換取樣管，另外還要檢查有無堵塞，可以采用細絲或者機械方法疏通，清楚管內的異物。
(5)、噴射器的檢修：
首先解體噴射器，然后清楚異物，可以用有機溶劑處理，然后重裝進行測試。
(6)、分析儀的放大器的檢修：
檢查電路有無過熱、損壞及異常現象出現，電子線路接口的損壞或者出現玷污、氧化腐蝕情況，導致接觸不良等現象，清楚電子線路上的積塵，確保電子線路接觸良好，正常運行，更換損壞的顯示器等元件。
(7)、分析儀的投運：
①、對于檢修后的氧分析儀，進行重新調試，對所有線路及配管進行全面檢測，有無漏氣、接觸良好、接線是否正確等。
②、給氧分析儀送電后，確認氧化鋯探頭升溫過程正常，通常設定恒溫在700度。
③、將參比空氣調至規定的流量值，將空氣噴射器的供氣調至規定壓力值。
④、將選擇合適分析儀的量程，通常為0-25%，對應輸出4-20mA。當分析儀的溫度達到恒溫溫度時(分析儀內部自帶溫度補償功能)，分析儀自動進入測量狀態。
